显微系列
显微膜厚仪·微区与图形化样品
显微成像系统·亚微米级定位·可观测微米级薄膜结构·微区与图形化样品
产品简介
FILMTHICK-C40 显微系列，面向图形化晶圆、微区器件、光学元件等小区域与图形化样品的膜厚测量。设备采用反射式光谱干涉测厚原理，机械结构集成进口长寿命卤钨灯光源，配合自研高精度光谱仪与 FFT 傅里叶法、极值法、拟合法三大反演算法，对样品实现非接触、无损、高精度测量，覆盖单层及多层薄膜厚度、折射率 n、消光系数 k、反射率与颜色等参数。采用立式显微光路结构与显微成像系统，可直接观测微米级薄膜结构，把测量区域的观察与膜厚反演合并在同一光路中完成，蓝色刻度定位精度可达亚微米级。
配套 OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件内置类型丰富、开放式的材料折射率数据库，测量期间可实时显示干涉、FFT 波谱和膜厚趋势，协助用户完成测试分析。硬件采用模块化设计，核心部件可独立更换，便于后续功能扩展，并支持与 C10 平台共用波段档位体系选配。
核心卖点
显微成像系统：可直接观测微米级薄膜结构，测量区域可视化，便于对位、判读与结果复核；
亚微米级定位：蓝色刻度定位精度可达亚微米级，适合图形化样品与微区器件的精确落点；
立式结构设计：立式显微光路与承载结构，便于微区样品的对位、观察与重复定位；
微区与图形化样品：面向图形化晶圆、微区器件、光学元件等小区域膜厚测量，弥补常规台面机型光斑偏大的局限；
波段可选：与 C10 平台共用波段档位体系，可选 190-1100nm / 190-1700nm / 380-1100nm / 380-1700nm 等配置；
与 C10 平台同源：共用 FFT / 极值 / 拟合三算法与 OPTICAFILMTEST 测量软件，内置开放式材料折射率数据库，配方与数据格式互通。
适用行业与应用场景
图形化晶圆与微区器件
光学元件与滤光片
钙钛矿与量子点薄膜
光刻胶与介质膜
显示面板微区膜层
高校科研与新材料表征
为什么选择景颐光电？
自主研发
膜厚反演算法（FFT 傅里叶法、极值法、曲线拟合法）与OPTICAFILMTEST 测量软件均为我司自主研发；光谱采集模块采用自研高精度光谱仪；
国家高新技术企业
公司成立于 2013 年，国家高新技术企业、专精特新企业、科技创新小巨人企业；与清华大学、北京大学等高校及研究院长期合作；
本地化服务
广州总部直服全国，提供在线远程培训、上门安装、远程故障诊断与备件速发；服务链路短于进口品牌经代理的间接模式；
可打样验证
合同签订前可安排实际样品免费打样测试，出具实测评估系数与重复性数据，作为配置确认与验收依据。
常见问题解答
Q: 该设备主要测量哪些类型的样品？
A: 本设备适用于图形化晶圆、微区器件、光学元件等小区域与图形化样品的膜厚测量。
Q: 测量过程中是否可以直观看到薄膜结构？
A: 是的，设备集成了显微成像系统，可直接观测微米级薄膜结构，将测量区域的观察与膜厚反演合并在同一光路中完成。
Q: 设备的操作和数据分析方面有什么特点？
A: 配套软件内置丰富的材料折射率数据库，支持实时显示干涉、FFT波谱和膜厚趋势，且硬件采用模块化设计，便于后续扩展和共用平台。
- 光学原理 反射式光谱干涉法，非接触、无损测量
- 结构形式 立式显微光路结构，含显微成像系统
- 定位方式 蓝色刻度定位，定位精度可达亚微米级
- 样品适配 图形化晶圆、微区器件、光学元件等小区域与图形化样品
- 波段配置 与 C10 平台共用档位体系，380-1100nm（基础）等其他波段可选
- 光源 机械结构集成的进口长寿命卤钨灯光源，寿命≥10,000小时
- 算法模型 FFT 傅里叶法、极值法、曲线拟合法；支持多层膜逐层拟合
- 可测参数 膜厚 d、反射率光谱 R(λ)、颜色、折射率 n、消光系数 k
- 软件 OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件，Windows 10 / 11 64 位；内置开放式材料折射率数据库，支持 CSV / Excel / XML / PDF 报告导出
- 工作环境 温度 18-28℃，湿度 <80% 无结露；AC 220V±10%，50Hz
- 注 本技术规格最终解释权归生产厂家所有
