基础系列
台面式光学膜厚测量仪·基础款检测设备
反射式光谱干涉测厚·十大波段配置可选·非接触无损·台面式即放即测

产品简介

景颐光电 FILMTHICK-C10系列是一款通用型精密检测基础设备，面向实验室常规检测、基础科研测量与标准样品测试。设备采用反射式光谱干涉测厚原理，机械结构集成进口长寿命卤钨灯光源，配合自研高精度光谱仪，通过 FFT 傅里叶法、极值法、拟合法三大反演算法，对样品实现非接触、无损、高精度测量，覆盖单层及多层薄膜厚度、折射率 n、消光系数 k、反射率与颜色等参数。 配套 OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件内置类型丰富、开放式的材料折射率数据库，测量期间可实时显示干涉、FFT 波谱与膜厚趋势，协助用户完成测试分析。硬件采用模块化设计，核心部件可独立更换，便于后续功能扩展，并支持十大波段配置选配。产品适用于半导体薄膜、液晶显示、光学镀膜、生物医学等领域的薄膜层厚度测量。

核心卖点

五种波段档位可选：C10-UV 190-1100nm｜C10-UVX 190-1700nm｜C10-基础款 380-1100nm｜C10-NIRX 380-1700nm｜C10-NIR 950-1700nm，按膜层与基底匹配选配；

宽量程覆盖：基础款 10nm-100μm，随配置可覆盖 1nm-250μm，单台设备贯通超薄膜与中厚膜需求；

亚纳米级重复性：基础配置膜厚重复性 ≤0.2nm；NIRX 双探测器配置 ≤0.02nm；膜厚稳定性优于 0.05nm；

三算法自动切换：FFT 傅里叶法、极值法、曲线拟合法按膜厚量级自动切换，同步输出膜厚 d、折射率 n、消光系数 k，并显示拟合残差曲线；

台面式即放即测：手动载物台 200mm × 200mm，支持碎片样品至 8 英寸以内圆片；单点测量小于 1 秒（典型约 0.5 秒）；

自研光谱与软件：光谱采集模块采用自研 JY-Spec 系列硅基 CCD 光谱仪；OPTICA FILMTEST 测量软件自主研发，全中文界面，三级权限管理。

适用行业与应用场景

半导体晶圆与光刻胶

光学镜片与滤光片镀膜

液晶显示与 OLED 镀层

光伏减反射膜与功能镀层

眼镜镜片镀膜

高校科研与第三方检测

为什么选择景颐光电？

自主研发

膜厚反演算法（FFT 傅里叶法、极值法、曲线拟合法）与OPTICAFILMTEST 测量软件均为我司自主研发；光谱采集模块采用自研高精度光谱仪；

国家高新技术企业

公司成立于 2013 年，国家高新技术企业、专精特新企业、科技创新小巨人企业；与清华大学、北京大学等高校及研究院长期合作；

本地化服务

广州总部直服全国，提供在线远程培训、上门安装、远程故障诊断与备件速发；服务链路短于进口品牌经代理的间接模式；

可打样验证

合同签订前可安排实际样品免费打样测试，出具实测评估系数与重复性数据，作为配置确认与验收依据。

常见问题解答

Q: 该设备测量的是什么参数？是否可以测量单层和多层薄膜？

A: 本设备采用反射式光谱干涉原理，可以对样品的薄膜厚度、折射率n、消光系数k、反射率和颜色等参数进行非接触、无损测量，支持单层及多层薄膜的分析。

Q: 设备的操作和数据分析是否方便？是否需要专业人员操作？

A: 设备配套了OPTICAFILMTEST软件，软件内置了丰富的材料折射率数据库，测量过程中可实时显示干涉图、FFT波谱和膜厚趋势，操作流程友好，便于用户进行测试分析。

Q: 购买时如何选择合适的波段配置？

A: 设备提供五种波段档位可选（如UV、UVX、基础款、NIRX、NIR），用户应根据待测膜层和基底的特性，选择最匹配的波段配置以确保测量精度和覆盖范围。