Mapping量圆测绘系列
光学反射膜厚仪·晶圆级全片测绘
晶圆级Mapping量圆测绘·380-1100nm光谱干涉·15nm至70μm 非接触测厚·2至12英寸全兼容
产品简介
FILMTHICK-C50-Mapping 是面向半导体晶圆、平板显示与精密光学镀膜行业的晶圆级 Mapping 量圆测绘机型，在 FILMTHICK-C 系列干涉型膜厚测量平台基础上，集成 R-Theta 极坐标自动移动平台、真空吸附晶圆载台与 Mapping 量圆测绘专用软件。设备采用反射式光谱干涉测厚原理，机械结构集成进口长寿命卤钨灯光源，配合自研高精度光谱仪与 FFT 傅里叶法、极值法、拟合法三大反演算法，对 2 至 12 英寸晶圆实现非接触、无损、高精度测量，覆盖单层及多层薄膜厚度、折射率 n、消光系数 k、反射率与颜色等参数，并输出全样品二维与三维膜厚分布图。
配套 OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件内置类型丰富、开放式的材料折射率数据库，测量期间可实时显示干涉、FFT 波谱和膜厚趋势，协助用户完成测试分析。硬件采用模块化设计，核心部件可独立更换，便于后续功能扩展。
核心卖点
晶圆级全片测绘：R-Theta 极坐标自动平台承载样品做径向与旋转两自由度运动，光学系统静止，点与点之间无装配一致性差异；自动生成 2D 等高线云图、3D 立体分布图与剖面线；
快：单点测量时间小于 0.5 秒；5 点位 / 5 秒、25 点位 / 14 秒、57 点位 / 30 秒，显著压缩检测节拍；
宽量程高精度兼得：单台覆盖 15nm 至 70μm，重复性 0.2nm，稳定性优于 0.05nm，减少设备投入与样品切换工时；
2至12 英寸全规格：2 / 4 / 6 / 8 / 12 英寸晶圆直接上片，无需按尺寸另购卡盘；
六类扫描路径：圆与同心圆 / 矩形与方形 / 放射状 / 中心或边缘去除 / 4 定点 / 用户自定义，另支持点位编程与 D 分布；
测量与仿真一体：除厚度反演外同步给出折射率 n 与消光系数 k 及反射率、颜色；内置反射率模拟模块可辅助新膜层工艺开发。
适用行业与应用场景
半导体晶圆镀膜均匀性
平板显示（FPD）
精密光学镀膜
新能源与光伏
生命科学与生物医学
Micro-LED 与光通信
为什么选择景颐光电？
自主研发
膜厚反演算法（FFT 傅里叶法、极值法、曲线拟合法）与OPTICAFILMTEST 测量软件均为我司自主研发；光谱采集模块采用自研高精度光谱仪；
国家高新技术企业
公司成立于 2013 年，国家高新技术企业、专精特新企业、科技创新小巨人企业；与清华大学、北京大学等高校及研究院长期合作；
本地化服务
广州总部直服全国，提供在线远程培训、上门安装、远程故障诊断与备件速发；服务链路短于进口品牌经代理的间接模式；
可打样验证
合同签订前可安排实际样品免费打样测试，出具实测评估系数与重复性数据，作为配置确认与验收依据。
常见问题解答
Q: 该设备可以测量多大尺寸的晶圆？
A: 设备兼容 2 英寸至 12 英寸的晶圆，支持晶圆级全片测绘。
Q: 除了膜厚，还能测量哪些参数？
A: 除了薄膜厚度，设备还能测量折射率 (n)、消光系数 (k)、反射率以及颜色等参数。
Q: 设备是否支持不同类型的膜层结构分析？
A: 是的，它支持单层及多层薄膜的厚度、折射率等参数测量，并内置了多种分析算法（如FFT、极值法、拟合法）。
- 产品型号 FILMTHICK-C50-Mapping
- 光学原理 反射式光谱干涉法（白光干涉），非接触、无损测量
- 光谱范围 380nm - 1100nm（可见光至近红外）
- 光源 机械结构集成的进口长寿命卤钨灯光源，寿命超过 3000 小时
- 测量光斑大小 1.5mm（标准配置，可按样品需求选配）
- 膜厚测量范围 15nm - 70μm
- 膜厚重复性精度 0.2nm（100nm SiO₂/Si 标准样品 100 次测量取最大值）
- 膜厚绝对精度 0.2% 或 2nm（取两者较大者）
- 膜厚稳定性 优于 0.05nm
- 可测参数 膜厚 d、反射率光谱 R(λ)、颜色、折射率 n、消光系数 k
- 反射率模拟 支持不同膜层结构建模与镀膜系统反射率曲线模拟
- 算法模型 FFT 傅里叶法、极值法、曲线拟合法，支持多层膜逐层拟合
- 单点测量时间 小于 0.5 秒
- Mapping 扫描速度 5 点位 / 5 秒；25 点位 / 14 秒；57 点位 / 30 秒
- 样品台形式 R-Theta 极坐标自动移动平台（径向 + 旋转双自由度）
- 移动范围 不小于 200mm × 200mm，可扩展至 300mm × 300mm
- 支持样品尺寸 2 英寸 / 4 英寸 / 6 英寸 / 8 英寸 / 12 英寸晶圆
- 手动操作移动重复性 ±0.2mm（100nm SiO₂/Si 样品 100 次测量取最大值）
- 支持扫描路径 圆 / 矩形 / 方形 / 放射状 / 中心或边缘去除 / 4 定点 / 用户自定义
- 软件 OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件（Mapping量圆测绘版），Windows 10 / 11 64 位；内置开放式材料折射率数据库
- 用户权限 Manager / Operator / Controller 三级权限管理
- 数据导出 CSV / Excel / XML 及二维、三维图形文件
- 系统集成 支持与上位 MES / SPC 系统对接（接口按项目开放）
- 工作环境 温度 18-28℃，湿度 <80% 无结露；AC 220V±10%，50Hz
- 注 本技术规格最终解释权归生产厂家所有
